表7:电子气体分类(根据用途)
2020-08-24   传统产业 | 产业概述
表7:电子气体分类(根据用途)
近年来,随着电子工业的快速发展,电子气体在电子产品制程工艺中被广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。在2018年我国特种气体下游细分领域中,电子半导体领域占比最多,高达41%。
化工
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2020-08-24 传统产业 | 产业概述
表7:电子气体分类(根据用途)
近年来,随着电子工业的快速发展,电子气体在电子产品制程工艺中被广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。在2018年我国特种气体下游细分领域中,电子半导体领域占比最多,高达41%。
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